1 73
2 530713
3 6481
4 47763361
5 42521761
6 150094634909578633
7 13490012358249728401
8 282429005041
9 19966781110160346782368664772328944885905284750420567849
10 1076050302914923449767311155851656076154481
11 563920755493974354012062097199694635409966586035902917973392670446241
12 507451442443788899165240329482668362950054541832902585238747279444641
13 913285529760491307211441303081810507321265939027922127596467715654783838541060368814699449567579470844249814778049226960412241