1 2 2 3 3 7 4 1237 5 66067 6 525593 7 974167 8 1412473 9 2675759 10 4471237 11 5264333 12 8107961 13 8308271 14 12615151 15 20145407 16 34926433 17 43167569 18 94772749 19 104612297 20 115103327 21 144450221 22 153124973 23 165108557 24 196634723 25 211696049 26 213507241 27 255963131 28 263979101 29 304142221 30 343954199 31 353773633 32 409407203 33 432705149 34 511400249 35 606848477 36 665628991 37 699417343 38 721538921 39 738067949 40 883602007 41 908036743 42 927066827 43 942143911 44 997771751 45 1045900019 46 1311336683 47 1433421337 48 1468653337 49 1473315383 50 1476977531 51 1771067449 52 1944114631 53 2141593283 54 2180071057 55 2330301271 56 2428387849 57 2615051161 58 2729836339 59 2780234461 60 2927464283 61 2990356877 62 3018295919 63 3222980539 64 3223912543 65 3262650143 66 3314694671 67 3454309483 68 3550086119 69 3591915583 70 3791492281 71 3867450791 72 3915711697 73 3929031719 74 3958967629 75 4555985761 76 4574405947 77 4649709979 78 4794997063 79 4909927937 80 5375751937 81 5526603119 82 5687862751 83 6010234931 84 6055950569 85 6159510761 86 6182802767 87 6300812491 88 6303752887 89 6384150473 90 6591971371 91 6737359081 92 6828572743 93 6862042687 94 6925569947 95 7215784913 96 7373938613 97 7677181907 98 7760671199 99 7919911939 100 7927504813