1 559736
2 28936484
3 1317291048
4 76393662524
5 3816435022128
6 224247343748408
7 11458028594887856
8 672061212550600320
9 34642386448309478976
10 2024556302397626065444
11 104880714157688434998824
12 6108520956167590562086664
13 317579700888857997583829384
14 18441769542374457100902923152
15 961558201746870228370519842792
16 55691835060499550891687151570616
17 2911068121659669346126728366374568
18 168209115859119428130833528010131728
19 8812300674496007571366448361432165608
20 508103741976787706032919912044324314944
21 26674362228026377606496206283724686630344
22 1534926855411355279436649764686587170467288