1 67
2 2393
3 49019
4 977939
5 20577215
6 439030021
7 9326184515
8 197633166633
9 4188392176965
10 88790771781371
11 1882395556896109
12 39906413076233653
13 845997890367543773
14 17934778981002807239
15 380209955175888381833
16 8060298127671270332859
17 170875057550751052132827
18 3622481717253015785274489
19 76795138430139427841190629
20 1628025708315373700974901619
21 34513483191090475897472211023
22 731671812481090997208086876165
23 15511144953221147828664836455001
24 328829966712463812895765886318641
25 6971061604529389761760596229287965
26 147783671854153743148179571790858631
27 3132953760174226629342303089757174329
28 66417345976919864226035054895893159855
29 1408020731967374876022391436708864562721
30 29849467070588397077450820730628917935489
31 632796566250452847862603505186740174949561
32 13415029933744153601693065755754830626081601
33 284393180559716523588349634289226140602070747
34 6029019804527565940826503625417899191427054199
35 127812768688220495765362547335558558268106447507
36 2709578732430229535427613557880720127629751839443
37 57441967516934182704493548920912840790953711273925
38 1217746357662438814865076805780204935592790761168529
39 25815727693571233809449456452251473665928820043229237
40 547282931420898016920786725897949997774417303466595257
41 11602175641914561418921881313040291418786469359194062297
42 245961406609830651483494834771003787814961309845411698823
43 5214281821672489566364877889501933771894353682649432624903
44 110540654692846799579976997297819246761735688490350461716045
45 2343416937906101287039221374588323916111192525015383280418879
46 49679486340337149222927172817055935146282542129685187169113917
47 1053184912645125765987729945606909206656413740338000149223021341
48 22327091963563841246889449994998918023023356716776396987152932475
49 473325272289964912916368726818632306716686467479781783799502050257
50 10034303336680876129741795188539389358032455757755434335444833373399
51 212723151175504345624347863930094752666242039306754730267260971990917
52 4509644319862124476094702936291542797771749190167078354523556579372681
53 95602626132996905983720636846861949680207901122858679608606550728989735
54 2026736805665645121305040276875602815937386990784690142845624591334035393
55 42965996286811602744300417713517969792947264549424579150806286182827555829
56 910861652957448423756320160119045006930774598635610275234073061340014804601
57 19309896721353155257321480488937664599935579254337194088874820157400635676535
58 409361959830736591099901611566623027586532284591190179796490068884708106304167
59 8678307117570046821079460294576220364290467961807858038243338532676993263847349
60 183976582626308116150407728661730828995104762070926506571606152988416610548803389
61 3900228753869239721913150310654067582916817577089734816606456336284638798985547641
62 82683263898897759027726117152051712177045725710046762468406496710200215660794503553
63 1752851578818951706930759014029818566296110630212581019933043538229024051131463996503
64 37159740828869851340376148923462469436788349170917501910850717619384023577797583378215
65 787771397849424930248870288326662449084477707863251504926128189561654198279276129284617
66 16700433356830570499768537825613086842958872331935673862235150923063211136302570584596011
67 354042397410383203553810217087513998202059707043218875855511705166593137880338946090721289
68 7505554885066769452155769087659929417356030392058730980983358770861358400710567817666733487
69 159114712093228883882051035355660516648850690358531834759254004565780591423666008076362984901
70 3373167206449106327497756594063502823726996246618743889155840940385912276238975691378022494371
71 71509773376561757215080733742936789403517491550702940183114811181334826344830843765952182320221
72 1515978122457290761565078999266629769325032807414414787463520003717460661404892509843443029059275
73 32138119857647227839408061375268060879454523288699998755326789991834727838951497465734409446031075
74 681315074857617228038979023702667836788237658023312878902793621809407471759728926562461892898464863
75 14443602590454184496251525896116822329679374098927407114365748222278683382429341194702348428182788773
76 306198502703866079021207158463535798126797319866604100242628994721067158341277344588906475370065828113
77 6491283768777609524127318738312618515489168736888088995954018611460173141274680660051241256244749241981
78 137612576791557331452739055656184027844917503182093170783991569248537272756382455351533698027197022667981
79 2917330679995581325595825532514697192929302205175304499937511312897965004716051226572315437409758921337077
80 61846224341361422019424157951086308405685001179563966399394501570864947234947843574044208731196780180106505
81 1311114811738722553156319601526074094795443228848926218269612236098787007890445319849589735352204521466555497
82 27795100959963064099195915444592431658848772763966607642648310038834028739399256892432190219093583006553333219
83 589244839931299650941071301904737978723244387610807868461964888259138129660163200762956150030353739394742959477
84 12491751042235622147700228759984322087537378882891927632356945645404058945919171876916863479110172133561194229279
85 264820043429464705373687483389783312493439104548628274984035895820132453633362980907575721617163352207234022125189
86 5614077255051715889963070539443147577641406989179389304356844449640127503283910632795973756816684202734971195629385
87 119016155339026853570694414988016755510574301426924884056488137423883973376277670253912625690800930408805917902476329
88 2523094105792259206319333596351963098683912099225237952721747661369864200209572770040298147632267154401946139013157767
89 53488569249692016660250618707339103251376401021429361456553648941035330340924552067721719773299308940751594729338386627
90 1133935921696716584721920249493174811137595922613138437526565237842118551415741222072691551010594513632592302752603312049
91 24038980525200452456241123045439682109293602222863731847861213853949945555563977917026518852940983091895840533567647657917
92 509616613808557771509497467321902553003726793780933785709446251190649695855863951846736661995304950273431541689273651536977
93 10803665022210216808961507239543084514172988971049439228901004238391953323576128944891202141703541091714095666170424621408075
94 229033306115830695773654753944941726716951784780054943688593002958409594954247557630964996638646846653697576417767983204459657
95 4855412973514824418680954584828349205137615806363578938842733639386010462187181157193774777628345334487388704513849967228829003
96 102932781014187051943597664373938273320209987425633395469518678926334629804534413549168159539976127612457511198053217876303716093
97 2182133108987590747695231608037163939415842191831965618475279558262193344558437534721632206280670267257275692962729579010670477295
98 46260334739071616344499524689892431214841081824895894745577620176821779767406343930388541427525410503132532438093669748286787829061
99 980700288793943572201521235401815965900721181585710951152168586452030529598001239582338285195486510489116347049325095238332442345581
100 20790447407381337855435129111734754196983341772302707462120975896557834663212514415489226523064560119408796826624319095046451528537547
101 440749032439520943268237766816051513738138562325742166790989650325915599402903149302579072150091926982830802870323417424637789001183657
102 9343700296098720610800812898317155830333260497146990611842434165352727162369717605012917363382198471070661226762131264758172874759898543
103 198082647487819887368045390039084823721975116650979823169047773974732017233841975432865586147405654466750703698886458251827505831724348667
104 4199271593949396049796377492758163872152740839490533523969018748324328429258926469730815300671344464262368004042019452810589855010267052135
105 89022850529270160936223383024763986999077333211295362954664318928134640503664390444809522616276121987584890130487232922584123071865585027321
106 1887248237950545570019297630827454216945604693232677902915498916534128080602429100374886462551758814565032908144044419773128554722682371137903
107 40008895361942743747495599604823601231965768131865837087931723912270485431285214097366445170273898780389914536549352889819423714513306995055061
108 848172315593826756883993320291642884277390530815133719830094402320267283234637256937820814092521598262598740994187010664337338223242456598144941
109 17980908256319870523259815046961735675691718236557542832024499475734854060575864409549639676168204362998279278941615846944259595008332078811746683
110 381187944687669374876985319911316667239220990615852313421437032750531049452729146497936002928577396004960880605039848642088524078230131570048235087
111 8081029451008884769216830115557024167626994182035209270295600777184163898289504194631472655258159619512938424109195489142121686528739458189285457445