1 47 2 199 3 20183 4 40039 5 69593 6 255767 7 689467 8 3565931 9 6314393 10 9113263 11 12012677 12 23346737 13 43607351 14 69266033 15 75138781 16 324237847 17 460475467 18 652576321 19 742585183 20 747570079 21 807620651 22 2988119207 23 12447231761