1 1
2 9
3 221
4 18393
5 6415089
6 8569227073
7 43045366565233
8 827667742380908273
9 60943705772313538144913
10 17137605013408451421126281145
11 18409652574456111249919293718583541
12 75573642697457134344920951461947874365689
13 1185461707802471776566972735014846083922456875073
14 71052640373116154464860565534349080616312462075429909601