1 7
2 21
3 273
4 16401
5 1048593
6 4295032833
7 1099512676353
8 9007199256838145
9 302231455185132270387201
10 1208944266358702884257793
11 1329227995784915872903807060297121793
12 1393796574908163946347162983661240005427201
13 87112285931760246646919047407712014958593
14 374144419156712476288139102091241356838979011346433
15 1606938044260451777179292995259366287354919276802448767844353