1 11161 2 11171 3 11173 4 11177 5 11197 6 161561 7 474937 8 474941 9 474949 10 4005917 11 4005943 12 5984101 13 12352877 14 14821097 15 18416329 16 18416351 17 18416371 18 19622833 19 28334069 20 33426761 21 61714043 22 103887869 23 212299561 24 228433487 25 245416663 26 246522383 27 317706671 28 324074497 29 324793739 30 324793747 31 440565701 32 440565773 33 440565781 34 477953789 35 497329487 36 497329499 37 620917691 38 649725409 39 655276261 40 670902079 41 683538217 42 683538223 43 693617257 44 696404729 45 839576347 46 976791169