1 1
2 13
3 239
4 10897
5 1095851
6 250916131
7 129422885699
8 150985649174085
9 397743903151933881
10 2367568471466798904283
11 31835463913062005686452609
12 967121732734103600475330208107
13 66372797708066134019183673485369717
14 10290768161294847094701843636345996827803
15 3604540619085624095394100558928785864814963091
16 2852320809603353966427737694503239810661121996050611
17 5099085718707816168637746554871481200310756184316168964137
18 20593592514875036605543246362478037137698272857798443740675346127
19 187896034761251244839446108534527052532592616560857655225508993289447005
20 3873012381301670320625410624525811434375896397113504551795389179865279729756349
21 180354047523289382353678064694460127675291796775824087229854757230900771454487883241069
22 18973552505199799001121538243254363314913523243165279740835218831988344540886187016395508253941