1 1009
2 3187
3 7561
4 1595323
5 43047721
6 94143179827
7 22876792455961
8 617673396284947
9 6461081889226673298933241
10 278128389443693511257285776232761
11 1330279464729113309844748891857449679409
12 2909321189362570808630465826492242446681483
13 1546132562196033993109383389296863818106322567003
14 375710212613636260325580163599137907799836383539729
15 29969067287845284806900763378587428179104321131567560879029936829441609169
16 685596132412797531053607549485540055753823212621556770516014091704614236087297342177409
17 15445383597460525862771087421073478123802094534281015332400536047781785847751826215666863239345512169090185060060988827169
18 1454077510067338869372316944847370699315973030897976908309312512336980481738317971337352174999857054574561953999845406588476984324763
19 112480748897486957909873174851759092108291603750507911629008137200660356022856358333319976969363743272432078071315765913475419108479650558645509473482808014590588725978233513809915752815053184019323
20 597152463056842341908762024185418685054207056332314478347827352460764734375345345870603172419123868750295983288569263632574908815378078302580224585346653298324734195047557342194681056539164109295762036073231747763356454020325313392530348032063147781100083853910415445388546289
21 34195439545472154946430020344225218186099575255694742216511976457023103482562003139135787171206366684845118011426056660918667445366242570829809401258901074131740165019004039676142087019488913174188383351864954154673702084031813422182255597520971031957174511532636893417052873352706920536685529743749749066663987054439156921
22 110425486985926239942041810343819263832229455843318519836681645397349145923716349513763483464173588308611126636143949239908730620392040854397527253907180429945438034922715796943238256649566458416328760251230229215313423570280571178348638961831558442654710285170361636435928109842239370878661666325004462619033457774362277159204949531875111136133618057846059998690003589296578947707847363745872962834067987434698027982590121591922565305721