1 1
2 8953
3 176703337
4 5158851352489
5 190172119451839801
6 8184214105554904614241
7 393277602707575435993011793
8 20524231145279587298876714943337
9 1142003787585101049672484911221507209
10 66879971495995556019851723767661130580273
11 4083984404398013049905118643406277242687275873
12 258216929637224968368612189747461465872288993226449
13 16813472286364051486247295678533803331078005942096434721
14 1122704572650776763087469985617468860215143313721586068656617
15 76619867013450488781512692708169240847161542538472981368934883897
16 5329593705548995592403427744444529704939487550924095652625734648690217
17 377002158952950398371396666803803519145202232846617005209784853400864169001
18 27069169744256539147586633068758640954352334297565906920579666261561876594382849