1 1
2 8953
3 176703337
4 5158851352489
5 190172119451839801
6 8184214105554904614241
7 393277602707575435993011793
8 20524231145279587298876714943337
9 1141793131372748920690525916472692809
10 66845086415203272975671039831846565573553
11 4080007941729787091775749843541665192135965153
12 257826376464246526799888853724577779343924633629489
13 16777861184621916548355506864523652083352990412722250881
14 1119588241854609193983341573136339853233590422709625022448137
15 76353609614940186089711514490021882064320938205132790607599752537
16 5307166998942552497550935713481499834831095762724238500758859925572457
17 375129069327335620706493690941484569191038720711971409376270195222175910121
18 26913479666284986283261506762040080828707807575076895631850802021633941880616129