1 1
2 616227
3 15120204295
4 2411829493241299
5 358060848206529563811
6 75490918169569448369461821
7 17949532724881770551236183389177
8 4867117722741777809293028167592172435
9 1442243718592710003660009307571010960704419
10 460665694048840364956092235035753118113461748937
11 156233617267365253937406436022511603821834364640431237
12 55719745397219037086513570380925191100206730278648895412589
13 20732361396241389192965570966069584542993086604565105443223567885
14 7999508094749244763070557524913686440638793111686148954915995912843203