1 5
2 67
3 262153
4 1073741839
5 18889465931478580854821
6 1496577676626844588240573268701473812127674924007509
7 118571099379011784113736688648896417641748464297615937576404566024103044751294597
8 2907354897182427562197295231552018137414565442749272241125960796722557152453591693304764202855054262243050086425064711734138406514458849
9 21876070151035743979932881133420538673394857426130834329903814928968884138060833125825315117408687035419422769309374140593527577081207288758125348887917366604361103574991957409465942559681782256380755518983443045321138880260842595014831695888553162170457355523470442824858761998022355220209670227681026737250654545007719824962700246753104126323026656019841026873548409699172843680746585036513406602455425885614805549449709006654941605641241419503544838795604682491957767961903392708465924819564810022213581601750673298462232136649598310381425566476323685489569879226727087618080307966231792214784806436264919621179037613794103866370240943604001631592548904350159428007661714677683034100964452970246340684477987367280657845425873073768931263697