1 1
2 13
3 715
4 137047
5 151063807
6 473437527487
7 8759301830031103
8 476009298383159238655
9 124804541542651896036171775
10 116591664734096391445571274997759
11 528358596232540118601239210575638560767
12 7144378940562638409529946721196600858719027199
13 546371326706070293118447897237569500299503069749575679
14 132240918273426334561931714980995736927323106921272551067877375
15 133857156711462721639684631386460259873593141338442185520082636568002559
16 554375059367662819628247749222330856840880707160115116004067902191450522703101951
17 10209507191947244524055788993918060311131642641092847548518485657620122890373557455832481791
18 617640854603615455381351613244674661532828921406626677483363426647020746867690363651537281822222188543
19 185890213997556517809059716159042122576775871711754689841541623311123654376574986764620539579473472779221074968575
20 176486178262099148961042008808411791999752821176829449500377808802483108254178142157717805096120879192312059990906927598010367