1 3
2 17
3 73
4 257
5 924844033
6 966367641601
7 9354438770689
8 468230246058455728129
9 12676506002282294014967032053760001
10 112418056545792871256481555812420390351647277057
11 462428252436731001462884654101636424188009906177
12 32113073085884097323811434312613640568611799040001
13 15749599771782363690586770467035734667320111542065152578788786177
14 2729694600049002279210035277560737605705760872782232963711740537733120001
15 3012075468622845858377354827840657474107720049104498632620632892280552035182856400618317630406657