1 1
2 3
3 11
4 9
5 127
6 33
7 83
8 27
9 121
10 381
11 5381
12 99
13 773
14 249
15 1397
16 81
17 3001
18 363
19 563
20 1143
21 913
22 16143
23 4943
24 297
25 16129
26 2319
27 1331
28 747
29 23563
30 4191
31 648391
32 243
33 59191
34 9003
35 10541
36 1089
37 3761
38 1689
39 8503
40 3429
41 57943
42 2739
43 13297
44 48429
45 15367
46 14829
47 123619
48 891
49 6889
50 48387
51 33011
52 6957
53 2897
54 3993
55 683387
56 2241
57 6193
58 70689
59 318211
60 12573
61 21817
62 1945173
63 10043
64 729
65 98171
66 177573
67 38833
68 27009
69 54373
70 31623
71 95651
72 3267
73 71993
74 11283
75 177419
76 5067
77 446623
78 25509
79 2422261
80 10287
81 14641
82 173829
83 584999
84 8217
85 381127
86 39891
87 259193
88 145287
89 16921
90 46101
91 64159
92 44487
93 7132301
94 370857
95 71501
96 2673
97 2419033
98 20667
99 651101
100 145161
101 231367
102 99033
103 115901
104 20871
105 115951
106 8691
107 55843
108 11979
109 3784901
110 2050161
111 41371
112 6723
113 478189
114 18579
115 627761
116 212067
117 93533
118 954633
119 249083
120 37719
121 28955161
122 65451
123 637373
124 5835519
125 2048383
126 30129
127 174440041
128 2187
129 146267
130 294513
131 12959
132 532719
133 46729
134 116499
135 169037
136 81027
137 11144527
138 163119
139 1204207
140 94869
141 1359809
142 286953
143 4159513
144 9801
145 2992501
146 215979
147 75779
148 33849
149 1455827
150 532257
151 90203
152 15201
153 363121
154 1339869
155 82345657
156 76527
157 418961
158 7266783
159 31867
160 30861
161 410269
162 43923
163 156691
164 521487
165 7517257
166 1754997
167 1125899
168 24651
169 597529
170 1143381
171 68123
172 119673
173 375631
174 777579
175 1338707
176 435861
177 3500321
178 50763
179 10875143
180 138303
181 284117
182 192477
183 239987
184 133461
185 477647
186 21396903
187 16148381
188 1112571
189 110473
190 214503
191 1920851
192 8019
193 8817439
194 7257099
195 1079881
196 62001
197 2283887
198 1953303
199 2186297
200 435483
201 427163
202 694101
203 1955729
204 297099
205 7358761
206 347703
207 598103
208 62613
209 3029503
210 347853
211 26179579
212 26073
213 1052161
214 167529
215 1688719
216 35937
217 53816453
218 11354703
219 791923
220 6150483
221 2319773
222 124113
223 70117
224 20169
225 1951609
226 1434567
227 874373
228 55737
229 8807033
230 1883283
231 4912853
232 636201
233 5632909
234 280599
235 15699613
236 2863899
237 26644871
238 747249
239 885169
240 113157
241 304553
242 86865483
243 161051
244 196353
245 874903
246 1912119
247 435199
248 17506557
249 6434989
250 6145149
251 449929
252 90387
253 26598283
254 523320123
255 4192397
256 6561
257 185200787
258 438801
259 312163
260 883539
261 2851123
262 38877
263 222293
264 1598157
265 367919
266 140187
267 186131
268 349497
269 767633
270 507111
271 13699921
272 243081
273 705749
274 33433581
275 86790149
276 489357
277 77557187
278 3612621
279 78455311
280 284607
281 1798327
282 4079427
283 3456073
284 860859
285 786511
286 12478539
287 4809269
288 29403
289 9006001
290 8977503
291 26609363
292 647937
293 603661613
294 227337
295 40412797
296 101547
297 7162111
298 4367481
299 3820939
300 1596771
301 1103651
302 270609
303 2545037
304 45603
305 2770759
306 1089363
307 1374299
308 4019607
309 1274911
310 247036971
311 54251
312 229581
313 20050561
314 1256883
315 1275461
316 21800349
317 39738967
318 95601
319 126792503
320 92583
321 614273
322 1230807
323 1689563
324 131769
325 12467717
326 470073
327 41633911
328 1564461
329 10260377
330 22551771
331 6816631
332 5264991
333 455081
334 3377697
335 4931791
336 73953
337 4450177
338 1792587
339 5260079
340 3430143
341 3488991971
342 204369
343 571787
344 359019
345 6905371
346 1126893
347 10100429
348 2332737
349 5353321
350 4016121
351 1028863
352 1307583
353 19464229
354 10500963
355 12147677
356 152289
357 2739913
358 32625429
359 352841
360 414909
361 316969
362 852351
363 318506771
364 577431
365 9143111
366 719961
367 13991827
368 400383
369 7011103
370 1432941
371 240451
372 64190709
373 1580699
374 48445143
375 22532213
376 3337713
377 18214199
378 331419
379 39699901
380 643509
381 1918840451
382 5762553
383 602713
384 24057
385 56721121
386 26452317
387 1608937
388 21771297
389 114190303
390 3239643
391 14833943
392 186003
393 142549
394 6851661
395 307627147
396 5859909
397 4159723
398 6558891
399 514019
400 1306449
401 772416317
402 1281489
403 501206243
404 2082303
405 1859407
406 5867187
407 20237941
408 891297
409 1414577
410 22076283
411 122589797
412 1043109
413 26411513
414 1794309
415 74294873
416 187839
417 13246277
418 9088509
419 2153939
420 1043559
421 38782649
422 78538737
423 14957899
424 78219
425 48403129
426 3156483
427 1810811
428 502587
429 45754643
430 5066157
431 155201173
432 107811
433 1080439
434 161449359
435 32917511
436 34064109
437 2782909
438 2375769
439 95284447
440 18451449
441 833569
442 6959319
443 7028887
444 372339
445 2148967
446 210351
447 16014097
448 60507
449 61332757
450 5854827
451 311791283
452 4303701
453 992233
454 2623119
455 8148193
456 167211
457 31533133
458 26421099
459 3994331
460 5649849
461 2559077
462 14738559
463 8326223
464 1908603
465 905802227
466 16898727
467 12240583
468 841797
469 3223139
470 47098839
471 4608571
472 8591697
473 71551157
474 79934613
475 9080627
476 2241747
477 350537
478 2655507
479 7984037
480 339471
481 2907253
482 913659
483 4512959
484 260596449
485 307217191
486 483153
487 2585926879
488 589059
489 1723601
490 2624709
491 92357269
492 5736357
493 70712563
494 1305597
495 82689827
496 52519671
497 7939033
498 19304967
499 13885609
500 18435447
501 12384889
502 1349787
503 274871
504 271161
505 29383609
506 79794849
507 6572819
508 1569960369
509 771270839
510 12577191
511 5975419
512 19683
513 749353
514 555602361
515 14719427
516 1316403
517 665193839
518 936489
519 4131941
520 2650617
521 3239191
522 8553369
523 175278491
524 116631
525 14725777
526 666879
527 1945821391
528 4794471
529 24433249
530 1103757
531 38503531
532 420561
533 44789939
534 558393
535 7092061
536 1048491
537 119626573
538 2302899
539 37069709
540 1521333
541 31503887
542 41099763
543 3125287
544 729243
545 480682427
546 2117247
547 53835167
548 100300743
549 2639857
550 260370447
551 13265969
552 1468071
553 201047663
554 232671561
555 5254117
556 10837863
557 20258213
558 235365933
559 10278581
560 853821
561 177632191
562 5394981
563 24294341
564 12238281
565 60730003
566 10368219
567 1215203
568 2582577
569 3278819
570 2359533
571 24305483
572 37435617
573 21129361
574 14427807
575 79725647
576 88209
577 1156369
578 27018003
579 96991829
580 26932509
581 48554917
582 79828089
583 15588757
584 1943811
585 11878691
586 1810984839
587 10417087
588 682011
589 365044133
590 121238391
591 25122757
592 304641
593 1696327
594 21486333
595 31633541
596 13102443
597 24049267
598 11462817
599 1274161363
600 4790313
601 640401031
602 3310953
603 4698793
604 811827
605 3677305447
606 7635111
607 7334387
608 136809
609 21513019
610 8312277
611 95557487
612 3268089
613 848251
614 4122897
615 80946371
616 12058821
617 123404201
618 3824733
619 2858819
620 741110913
621 6579133
622 162753
623 1404443
624 688743
625 260144641
626 60151683
627 33324533
628 3770649
629 11286761
630 3826383
631 168160087
632 65401047
633 287975369
634 119216901
635 22153885207
636 286803
637 5325197
638 380377509
639 11573771
640 277749
641 48728489
642 1842819
643 18962737
644 3692421
645 18575909
646 5068689
647 270438281
648 395307
649 1712293391
650 37403151
651 591980983
652 1410219
653 58596767
654 124901733
655 1645793
656 4693383
657 8711153
658 30781131
659 6583847
660 67655313
661 12247212853
662 20449893
663 25517503
664 15794973
665 5934583
666 1365243
667 116471909
668 10133091
669 771287
670 14795373
671 117397277
672 221859
673 12527927
674 13350531
675 21467699
676 5377761
677 171090281
678 15780237
679 200779739
680 10290429
681 9618103
682 10466975913
683 2067346873
684 613107
685 1415354929
686 1715361
687 96877363
688 1077057
689 2239381
690 20716113
691 639775867
692 3380679
693 54041383
694 30301287
695 152934289
696 6998211
697 173886943
698 16059963
699 61961999
700 12048363
701 5053303
702 3086589
703 2117443
704 3922749
705 172695743
706 58392687
707 19203461
708 31502889