1  73520771
2  108288041
3  127499219
4  141239113
5  160792529
6  198545797
7  205293103
8  217763051
9  227258803
10  262056089
11  269931509
12  303224819
13  307060289
14  353982553
15  368427809
16  430034677
17  525141899
18  581603107
19  585721991
20  600824113
21  612314921
22  644606467
23  718519237
24  723522461
25  744980203
26  811566823
27  828042359
28  837819067
29  856695701
30  888450847
31  892388557
32  910952947
33  934414079
34  941636707
35  972440141
36  1057834859
37  1063580263
38  1116682421
39  1119184033
40  1185770653
41  1203617081
42  1243642873
43  1315764013
44  1317014819
45  1350308129
46  1359231343
47  1379244239
48  1415304809
49  1432576867
50  1465075207
51  1661887147
52  1731421687
53  1769844043
54  1797323831
55  1808928689
56  1836430663
57  1911937199
58  1925431811
59  1947997769
60  1950371707
61  1969363211
62  2024842481
63  2038957783
64  2054708623
65  2079802057
66  2103011773
67  2121295243
68  2128966183
69  2158015721
70  2222810711
71  2251701223
72  2309028793
73  2336018017
74  2374914959
75  2381149933
76  2385897809
77  2423880817
78  2534839357
79  2563069961
80  2565129403
81  2594571641
82  2644758509
83  2678051819
84  2686289587
85  2691177941
86  2716493831
87  2727744881
88  2739475447
89  2743086761
90  2801185837
91  2804058539
92  2930775817
93  2951884079
94  2961890527
95  2988556841
96  3004806011