1 73520771 2 108288041 3 127499219 4 141239113 5 160792529 6 198545797 7 205293103 8 217763051 9 227258803 10 262056089 11 269931509 12 303224819 13 307060289 14 353982553 15 368427809 16 430034677 17 525141899 18 581603107 19 585721991 20 600824113 21 612314921 22 644606467 23 718519237 24 723522461 25 744980203 26 811566823 27 828042359 28 837819067 29 856695701 30 888450847 31 892388557 32 910952947 33 934414079 34 941636707 35 972440141 36 1057834859 37 1063580263 38 1116682421 39 1119184033 40 1185770653 41 1203617081 42 1243642873 43 1315764013 44 1317014819 45 1350308129 46 1359231343 47 1379244239 48 1415304809 49 1432576867 50 1465075207 51 1661887147 52 1731421687 53 1769844043 54 1797323831 55 1808928689 56 1836430663 57 1911937199 58 1925431811 59 1947997769 60 1950371707 61 1969363211 62 2024842481 63 2038957783 64 2054708623 65 2079802057 66 2103011773 67 2121295243 68 2128966183 69 2158015721 70 2222810711 71 2251701223 72 2309028793 73 2336018017 74 2374914959 75 2381149933 76 2385897809 77 2423880817 78 2534839357 79 2563069961 80 2565129403 81 2594571641 82 2644758509 83 2678051819 84 2686289587 85 2691177941 86 2716493831 87 2727744881 88 2739475447 89 2743086761 90 2801185837 91 2804058539 92 2930775817 93 2951884079 94 2961890527 95 2988556841 96 3004806011