1 3
2 7
3 7
4 15
5 35
6 15
7 31
8 147
9 147
10 31
11 63
12 553
13 1161
14 553
15 63
16 127
17 2045
18 7857
19 7857
20 2045
21 127
22 255
23 7439
24 52711
25 97269
26 52711
27 7439
28 255
29 511
30 27099
31 347155
32 1197511
33 1197511
34 347155
35 27099
36 511
37 1023
38 98193
39 2331517
40 14516959
41 27488435
42 14516959
43 2331517
44 98193
45 1023
46 2047
47 356367
48 15537761
49 182716785
50 619040901
51 619040901
52 182716785
53 15537761
54 356367
55 2047
56 4095
57 1290555
58 105095051
59 2283795777
60 14838256141
61 26075879845
62 14838256141
63 2283795777
64 105095051
65 1290555
66 4095
67 8191
68 4678201
69 706172043
70 29455167803
71 349768244657
72 1191246174665
73 1191246174665
74 349768244657
75 29455167803
76 706172043
77 4678201
78 8191
79 16383
80 16941465
81 4789433693
82 375686161591
83 8746284074471
84 53433342637145