1 6
2 508
3 95648
4 17704612
5 3345698159
6 642902149269
7 125023235986060
8 24532345137855558
9 4847658520889741087
10 963306978592566283718
11 192306743440029495693971
12 38537949083984617104985257
13 7748017878396662088854170636
14 1562064738405811665028497236186
15 315684017310103477532139799873862
16 63932297164574816298763093514034091
17 12971622845602394219048248179878696687
18 2636238801057885083137527128549963902370
19 536557129400105373472218719265565021116816
20 109351237840095390223826764766147614858889578
21 22312738469905248905185539548927623077350128832
22 4557807062670446902773168803797495949026360612749
23 931947736875506688756495319953615367502257569325781