1 1
2 810
3 362648
4 83049596
5 19914461784
6 5191761888989
7 1343321735549790
8 345412651608406381
9 89264849660965978156
10 23113820838413136068578
11 5981531421021641392319948
12 1547617761143017432765908639
13 400474454194744685625160568573
14 103636146772694234718325103435829
15 26819202474935678229526954503142913
16 6940328383861016396227184262343044393
17 1796037721314443519361429922067679521027
18 464784042518477695183949591507190600017248
19 120278200856583556401258779440075213515295708
20 31125955331810769568657253034692471377816654559
21 8054869517736799847508226434441759531413017774299
22 2084463714018089745758868071961030050921637415386350