1 3
2 17
3 217
4 5873
5 344091
6 43337009
7 11761200209
8 6872287575297
9 8648230733328339
10 23436303828484483825
11 136773087470228122215081
12 1718926116885238623987854577
13 46522215573069867474481754034859
14 2711500272895180011608048319488635153
15 340333878878841917916317145265259499161057
16 91991334872350439327075333673069625404694495809
17 53546968140919363855052010575609310999796637726011683
18 67122646493603823812984062634538144859913017890514819846545
19 181196364568916398521169213415305700825439260673980958820368823801
20 1053358273539653301244080485183991567952560440034498680486092114013036785
21 13187089812856481176868411038127388734880449322144188552060355847982693937577019