1 3
2 9
3 40
4 273
5 2727
6 41520
7 944307
8 32403123
9 1667310336
10 129124175985
11 15018894671481
12 2626862719652352
13 690390044069042835
14 272767004386769371833
15 161965593156881121867648
16 144560464234432857357663177
17 193925859668917618045249340991
18 391023311484637158768182139438720
19 1185053192012873808938049324881994411
20 5398195405943198498547943846615643595195
21 36959888895794618509617472846290815134525440
22 380352701990814026521924470539505306048174331817
23 5883214595403830185829474306726058340318393092410025
24 136777941093900259631301620250416274257392940650671685632
25 4779584279993293245025504899438876672329180015273669874216203