1 134217728 2 40922 3 40922 4 2175043 5 3383 6 2175043 7 5261909 8 16401 9 16401 10 5261909 11 21336430 12 339649 13 335092 14 339649 15 21336430 16 41303124 17 851259 18 1406478 19 1406478 20 851259 21 41303124 22 62806428 23 1119049 24 2074892 25 17616908 26 2074892 27 1119049 28 62806428 29 68281222 30 1236313 31 2236060 32 20944652 33 20944652 34 2236060 35 1236313 36 68281222 37 199303510 38 1378665 39 2422316 40 21482140 41 59508492 42 21482140 43 2422316 44 1378665 45 199303510 46 384169510 47 1968681 48 3006844 49 22417900 50 60795484 51 60795484 52 22417900 53 3006844 54 1968681 55 384169510 56 571980454 57 5163488 58 6080572 59 25486140 60 64214956 61 69691980 62 64214956 63 25486140 64 6080572 65 5163488 66 571980454 67 1778364541 68 12115223 69 15726572 70 34731516 71 70996220 72 76517148 73 76517148 74 70996220 75 34731516 76 15726572 77 12115223 78 1778364541 79 3512154381 80 24075150 81 34288563 82 73928044 83 87664508 84 87955372 85 93739724 86 87955372 87 87664508 88 73928044 89 34288563 90 24075150 91 3512154381 92 5304881348 93 55089462 94 71403130 95 151346140 96 167497324 97 120673708 98 120920668 99 120920668 100 120673708 101 167497324 102 151346140 103 71403130 104 55089462 105 5304881348 106 15144776051 107 113398734 108 155827393 109 366033571 110 314001500 111 228103324 112 178469852 113 178672908 114 178469852 115 228103324 116 314001500 117 366033571 118 155827393 119 113398734 120 15144776051 121 29970565991 122 210895462 123 306755289 124 796929386 125 538723788 126 416209676 127 325043020 128 272599692 129 272599692 130 325043020 131 416209676 132 538723788 133 796929386 134 306755289 135 210895462 136 29970565991 137 46523591632 138 464136534 139 609067313 140 1516853857 141 1546301779 142 777520444 143 647279228 144 550844092 145 557336396 146 550844092 147 647279228 148 777520444 149 1546301779 150 1516853857 151 609067313 152 464136534 153 46523591632 154 127851480053 155 957104471 156 1310069209 157 3262381305 158 3068048138 159 1709586348 160 1230176620 161 1092208300 162 1074070460 163 1074070460 164 1092208300 165 1230176620 166 1709586348 167 3068048138 168 3262381305 169 1310069209 170 957104471 171 127851480053 172 256217164270 173 1808104089 174 2606530473 175 6795743137 176 5253999297 177 3641218099 178 2516616796 179 2009810972 180 1986711980 181 3528280204 182 1986711980 183 2009810972 184 2516616796 185 3641218099 186 5253999297 187 6795743137 188 2606530473 189 1808104089 190 256217164270 191 409222587316 192 3966414299 193 5222482602 194 12894232233 195 13478770089 196 7014309114 197 5222964860 198 4408210892 199 4052846428 200 5921060412 201 5921060412 202 4052846428 203 4408210892 204 5222964860 205 7014309114 206 13478770089 207 12894232233 208 5222482602 209 3966414299 210 409222587316 211 1084531312812 212 8210977468 213 11220233676 214 27674754185 215 26328248689 216 15134693393 217 10551691347 218 9010380716 219 8523474380 220 10408240172