1 1
2 5
3 41
4 827
5 36787
6 3729091
7 851302029
8 439621976195
9 512615852515459
10 1350668111471923517
11 8039144604242883698707
12 108102244692016476122031505
13 3283958267007000189206675439393
14 225377046019121585326666765445484971
15 34943467885287955988285188366498251441499
16 12239642367063509319133812569522440190894909583
17 9685385489855876264886638858785080186275897775456467
18 17314540504600995231095921069687952400570367839693821826311
19 69927937733842965839012043216369982212608411847058624201058294481
20 638022866653740674879689421327988018350938835470933496886777707464890025
21 13151264235304786903560298301842796424787788600484263872474871101527169551221133
22 612413162525015463789541452820797355904277487160923685282736972810377953588897984370669