1 17
2 73
3 89
4 6553
5 6569
6 4782961
7 4782977
8 3486784393
9 3486784409
10 31381059601
11 1350851717672992097
12 984770902183611232889
13 381520424476945831628649898801
14 969773729787523602876821942164080815560169
15 145557834293068928043467566190278008218249525830565939618489
16 3329896365316142756322307042065269797678257903507506764336659647715734249
17 261568927457882874608733211757582315090892217214195250256575658313972901281170319830426649720495049350373165676996889
18 15445383597460525862771087421073478123802094534281015332400536047781785847751826215666863239345512169090185060060988826161
19 5983858066120736087951921583734035799654210003695378223495113219493746838429292063116675617283362364504370181069322660857929976633
20 14525782246983536034855161109683669991596791359872003040559706366419642084429701840751350156979879812492031968558443634536059520162376755326522152623614004701935006338791410425475271334803677037795227206641