1 269005729
2 290863679
3 473802661
4 527835169
5 706754921
6 754921967
7 801087773
8 835844717
9 717445879
10 796098493
11 849365327
12 327965863
13 991013741
14 984449143
15 143096677
16 136716319
17 128763773
18 377314703
19 833162821
20 294047891
21 654433627
22 547901339
23 149964379
24 968160799
25 460899883
26 225430487
27 913008493
28 942730193
29 601691939
30 189528329
31 832905217
32 217111571
33 825639943
34 601849153
35 305140051
36 514005169
37 731535983
38 153598373
39 535983731
40 373110421
41 302396789
42 720375991
43 586886897
44 158559607
45 607433467
46 126563191
47 738895709
48 895709053
49 653343731
50 637427341
51 734126947
52 796804321
53 147666823
54 830362189
55 233126347
56 312829271
57 166830929
58 109382863
59 897142507
60 714250703
61 916188001
62 881003197
63 912230377
64 730757413
65 134362759
66 257908757
67 579087577
68 875770529
69 971950783
70 762383981
71 383981639
72 436962719
73 962719627
74 637368419
75 243867487
76 445072151
77 383559349
78 917541679
79 622823221
80 912280111
81 155204219
82 802590889
83 891765383
84 890902247
85 496644983
86 793701653
87 153530513
88 530452801
89 452801071
90 901049021
91 490216621
92 870287611
93 975829783
94 897922043
95 267954251
96 852939553
97 395531729
98 403635851
99 335206733
100 586335473
101 719709217
102 197092171
103 286328417
104 170362567
105 256724947
106 672494791
107 358430851
108 843085189
109 851895943
110 393517807
111 540634463
112 634463399
113 501730577
114 173057777
115 730577777
116 425811653
117 354642577
118 642577307
119 478784731
120 449823037
121 230376703
122 353894659
123 465900223
124 900223099
125 334764961
126 496149103
127 565822903
128 874513561
129 512691043
130 661609573
131 301152751
132 184003481
133 347524327
134 327792193
135 216385021
136 971186759
137 705874849
138 648173683
139 705535009
140 233382599
141 572785243
142 566414179
143 641417921
144 417921793
145 768969923
146 866164051
147 304890923
148 723660389
149 409278743
150 787438237
151 969044057
152 592272449
153 914157263
154 569221351
155 213517571
156 634054573
157 573982909
158 203402413
159 501811483
160 225258563
161 856328087
162 808731673
163 234777731
164 477773161
165 193600273
166 249181657
167 850553749
168 652493999
169 215724941
170 249416303
171 621197671
172 364545017
173 454501777
174 297740351
175 777684571
176 577514039
177 367653313
178 533130877
179 130877051
180 665891543
181 754103653
182 611426129
183 114261293
184 261293609
185 486182159
186 182159443
187 944315863
188 568286689
189 440921531
190 802108583
191 833695349
192 496882031
193 813545119
194 539123173
195 495844777
196 862813013
197 945816271
198 406831681
199 982742029
200 454980047
201 341461499
202 461499217
203 106089353
204 355740353
205 168892351
206 906605111
207 400728961
208 552349711
209 815885699
210 814823887
211 148238879
212 995135233
213 478550327
214 252884773
215 217426933
216 426933893
217 474750413
218 122416193
219 640380239
220 494128097
221 240602569
222 524262887
223 134624741
224 472063763
225 650067547
226 893058619
227 710744737
228 447375749
229 473757499
230 822452359
231 933207467
232 746701513
233 806466653
234 466653521
235 804338933
236 766129967
237 996777283
238 967772837
239 677728379
240 767891941
241 884395123
242 395123359
243 640009949
244 419160299
245 560179127
246 127399141
247 280633763
248 364015807
249 483562111
250 111295507
251 522138497
252 923935633
253 894135241
254 618537589
255 189860081
256 898600817
257 354751447
258 234626713
259 294094903
260 940949033
261 173954447
262 396303151
263 151950991
264 638822143
265 170840269
266 325174879
267 251748793
268 340576697
269 744825041
270 992613151
271 856525861
272 169906351
273 699063517
274 399175811
275 257479913
276 330861473
277 384513271
278 513271373
279 888049999
280 524447849
281 790513853
282 957656137
283 431778073
284 906406511
285 913019057
286 379961597
287 252691433
288 269143327
289 415568983
290 540504449
291 188368171
292 343652429
293 436524293
294 365242931
295 202505213
296 505213757
297 652558079
298 525580799
299 558079909
300 443500259
301 934821533
302 938962669
303 266950403
304 403845259
305 149972653
306 367464641
307 669291151
308 797058287
309 648217127
310 405878251
311 232610221
312 102212563
313 387969787
314 440549093
315 658079711
316 798688399
317 526282681
318 123818399
319 818399047
320 799486321
321 940610831
322 437654429
323 198964121
324 867400753
325 132859417
326 636499751
327 322938197
328 739478809
329 788091643
330 269211583
331 275659103
332 591031481
333 314814361
334 731964413
335 441324439
336 949009261
337 358716499
338 164999683
339 300166679
340 702462011
341 269703659
342 939555517
343 395555177
344 551779777
345 827461573
346 100600081
347 532205549
348 420499801
349 499801801
350 454721489
351 738073627
352 449302213
353 290118247
354 365254229
355 861808433
356 494778247
357 688768393
358 168799453
359 121787789
360 843443983
361 899188991
362 188991259
363 165547153
364 572899183
365 170899489
366 894297409
367 805140251
368 971791439
369 791439401
370 869046029
371 815667641
372 703742527
373 711328043
374 173123089
375 182193499
376 349947469
377 673081301
378 819258151
379 652865639
380 187820989
381 820989941
382 124120333
383 171912731
384 161342431
385 354457847
386 371666551
387 166655189
388 471046313
389 745561939
390 360139817
391 148863877
392 753885623
393 538856239
394 562390333
395 594774491
396 449156479
397 122707441
398 441544507
399 985029313
400 267921383
401 607932557
402 927246851
403 671558077
404 155807797
405 977127617
406 201509227
407 237925141
408 310891249
409 558397883
410 130592699
411 999426469
412 304327151
413 885263363
414 795439213
415 853251733
416 251733463
417 815601359
418 244797001
419 495871331
420 133330037
421 405061253
422 512241199
423 961489069
424 614890699
425 769526761
426 478971863
427 897186319
428 863194819
429 685416959
430 995578601
431 601579241
432 725021303
433 383693209
434 676166021
435 602147129
436 253023973
437 946770593
438 790758481
439 758481517
440 848151767
441 764821469
442 692453089
443 293055341
444 523187459
445 769632841
446 272940361
447 403614139
448 216032771
449 799423039
450 553551967
451 551967191
452 156068009
453 195006827
454 282552119
455 199982413
456 571182793
457 279312661
458 515689843
459 928210691
460 381040133
461 401333357
462 357110003
463 870071627
464 700716271
465 121863211
466 525078863
467 834829007
468 730882189
469 189069533
470 622703933
471 691892879
472 526475881
473 758815243
474 999420419
475 942041951
476 366640609
477 769615507
478 414097483
479 748341697
480 845786779
481 242887003
482 700362931
483 789996967
484 416062307
485 160623077
486 666558983
487 898345159
488 575569499
489 166280561
490 561627959
491 452165561
492 156101579
493 796637489
494 966374897
495 578729251
496 559412543
497 310855453
498 545320733
499 455455241
500 311071801
501 110718017
502 449048729
503 729606463
504 374053051
505 176174221
506 873384361
507 824855741
508 109767953
509 761792807
510 430296749
511 302967493
512 862305299
513 331206521
514 312065213
515 169543861
516 180802577
517 459358841
518 451440557
519 182890783
520 874357931
521 467662463
522 536384209
523 982632241
524 789122837
525 141791681
526 330376639
527 874419547
528 980064143
529 944143469
530 346935899
531 756552661
532 196103119
533 540728761
534 365705699
535 569912677
536 379109369
537 328804517
538 303913147
539 456470471
540 363401477
541 494156933
542 702107387
543 876483847
544 766614281
545 661428127
546 745095217
547 217563721
548 721204499
549 931829681
550 214604801
551 370759951
552 951373069
553 982371443
554 975821047
555 792743789
556 743789509
557 224883427
558 488342791
559 439820621
560 182609149
561 268230839
562 446204503
563 620450387
564 193686001
565 368600147
566 244639037
567 552640853
568 640853819
569 361061357
570 855662539
571 883719979
572 915619553
573 446285591
574 812453513
575 668884903
576 688849037
577 532372069
578 923130083
579 475704443
580 826640047
581 800595329
582 761577017
583 770172751
584 447647147
585 388712399
586 396721279
587 967212793
588 279340021
589 207548339
590 819208939
591 628452373
592 380471327
593 952781623
594 474235141
595 979059241
596 241428659
597 398228653
598 502347509
599 158978293
600 626889017
601 747091337
602 440675413
603 398678473
604 255880759
605 521372041
606 101401177
607 815851987
608 114492769
609 163759829
610 829054097
611 541440377
612 377813369
613 681131327
614 566240993
615 409938689
616 282696857
617 459246367
618 577514801
619 162193453
620 934531907
621 647441299
622 698590379
623 590379047
624 399516191
625 866442149
626 442149503
627 482881837
628 322818773
629 323439821
630 190839521
631 819298841
632 410504099
633 567869209
634 717250819
635 172508191
636 250819199
637 288063361
638 345266057
639 500180003
640 943482689
641 438876589
642 882950513
643 688404403
644 420684449
645 880423849
646 382716547
647 547820881
648 237125153
649 222996797
650 867032431
651 756631963
652 283753963
653 753963031
654 410340011
655 406327609
656 327609109
657 895151479
658 514790869
659 897824269
660 913246283
661 260684089
662 958081637
663 988164263
664 569306719
665 747718121
666 477181213
667 314661829
668 368548207
669 236890253
670 689025391
671 104068121
672 406812149
673 499073191
674 661694921
675 157550321
676 474456821
677 417022187
678 170221879
679 218795413
680 322940801
681 420923389
682 720414271
683 712767287
684 684888569
685 858131611
686 644289169
687 783634223
688 137425247
689 742524767
690 676032853
691 381680183
692 421768967
693 793029401
694 591625537
695 203133131
696 786156523
697 156523079
698 844578151
699 430173113
700 301731139
701 569775487
702 278814307
703 753767033
704 867137653
705 713765323
706 853888039
707 110909269
708 654874621
709 874621607
710 261263491
711 169443187
712 612349393
713 393960263
714 748123543
715 743353687
716 536873123
717 372256243
718 869024911
719 781584541
720 845413561
721 971532823
722 715328231
723 692655529
724 962050301
725 205030151
726 640918799
727 362925611
728 906192697
729 742850363
730 839926051
731 926051443
732 263015531
733 761800579
734 933425153
735 515358997
736 997048417
737 291318019
738 318019327
739 974254069
740 856066777
741 677769371
742 638679947
743 701698331
744 247494083
745 450727337
746 761287507
747 565094227
748 825942919
749 982912327
750 758914201
751 694050703
752 895445543
753 598363957
754 957468047
755 205406917
756 412636439
757 167505419
758 696297989
759 303885643
760 812756069
761 725917547
762 913228807
763 574462183
764 101210107
765 713477003
766 785079083
767 490377703
768 627421943
769 126842129
770 526257527
771 262575277
772 162587519
773 625875199
774 985454461
775 454461827
776 486004067
777 677085467
778 980624461
779 892750897
780 559806397
781 881088193
782 906440921
783 739890353
784 210762733
785 384452993
786 116088281
787 925476911
788 583443061
789 834256067
790 260352623
791 426074629
792 987368773
793 301059097
794 909724591
795 488904271
796 101991907
797 585005657
798 544107973
799 441079733
800 936846611
801 141084499
802 108449941
803 994184333
804 416406671
805 186945529
806 455294183
807 529418317
808 990484219
809 260543417
810 493281281
811 906933277
812 720799487
813 697255703
814 157388279
815 825330323
816 820441957
817 202075007
818 723720611
819 372920417
820 587740991
821 174493681
822 124856401
823 289213387
824 338724227
825 227122463
826 340388837
827 515569207
828 776439091
829 148158643
830 430945051
831 897569087
832 873285059
833 567634031
834 319304357
835 304357489
836 272523869
837 907292821
838 132817189
839 255628547
840 439350229
841 290998171
842 308271539
843 981314041
844 598884001
845 291951181
846 181658483
847 165848341
848 932264863
849 648635479
850 354791167
851 777576551
852 200222461
853 533561309
854 634985053
855 212220343
856 760908209
857 908209231
858 202068313
859 382833929
860 339297499
861 618236419
862 827667611
863 611613311
864 311977153
865 395280601
866 411224683
867 972983441
868 474970229
869 497022913
870 407186267
871 526869433
872 853064099
873 990889027
874 883543993
875 366740207
876 994130273
877 150795221
878 760062649
879 950973601
880 914634319
881 867584087
882 874004387
883 408045889
884 378192461
885 761355143
886 996466613
887 445474411
888 583441589
889 433541761
890 550103699
891 699187693
892 324924661
893 291721841
894 172184167
895 721841671
896 714876413
897 135630787
898 460030673
899 955234517
900 312340661
901 160052587
902 995316251
903 162511949
904 119490499
905 730277759
906 659326001
907 451314917
908 221540797
909 797395987
910 318826589
911 639893467
912 807160127
913 962185043
914 316590839
915 396274993
916 672538367
917 596738119
918 553226473
919 985771541
920 965635079
921 463443371
922 766114243
923 771950359
924 438805427
925 838061009
926 226978363
927 718817173
928 311267951
929 267951511
930 151118711
931 201472393
932 147239381
933 982968653
934 635218411
935 857930167
936 768744553
937 553076959
938 232315661
939 838799081
940 110648687
941 106486871
942 183680719
943 490880693
944 110669087
945 798676579
946 189061661
947 166182941
948 649990673
949 553967263
950 840763723
951 624019093
952 240190931
953 198119743
954 974369371
955 693716083
956 716083651
957 741391789
958 797600123
959 976001239
960 870117317
961 559896907
962 514251431
963 251431321
964 384769457
965 983429989
966 445296223
967 673200103
968 606196823
969 351488959
970 889597481
971 370498747
972 704987473
973 329486723
974 482224487
975 244874587
976 742162507
977 384365603
978 603144461
979 314446177
980 927804023
981 815475547
982 227926991
983 183785039
984 785039741
985 953755129
986 686171897
987 735080309
988 657974587
989 665631797
990 452843327
991 568763467
992 433100027
993 454386467
994 646708477
995 622941569
996 569810863
997 628852439
998 391958183
999 973295467
1000 897284029