1 3
2 7
3 71
4 18089
5 10391023
6 781379079653017
7 2111421691000680031
8 1430286763442005122380663256416207
9 3992453369810156170033951439563841352756619051082773962726507939834095816052524770531857938962591843430473446733393239085108505737983742217287688722080764238298817761
10 81956823345433530897796286235509607783867595862725638270448456162172715699724234739456387002932043222875863601018681622708121172208172158290386509040570001893271849160857853068424199739049111